Electro-physical properties of porous anodic alumina films for sensitive elements of MEMS

نویسندگان

چکیده

The results of a comprehensive study porous alumina film electrical properties obtained by anodizing in acid electrolytes have been presented. relationship was established between the structure oxide films, mechanism their formation, as well physicochemical characteristics. A targeted effect on microstructure films made it possible to control varying technological parameters without radical change method. This predict behavior nanostructures and for sensitive MEMS elements.

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

Fabrication of a porous anodic alumina membrane

With the aim of developing a process for surface enlargement on an electrode for measuring brain activity attempts have been made to fabricate a porous anodic alumina membrane directly on the electrode. The porous membrane was intended to be used as scaffold for deposition of an electrically conducting polymer on the electrode surface. A silicon wafer with gold electrodes was the base onto whic...

متن کامل

determination of some physical and mechanical properties red bean

چکیده: در این تحقیق، برخی خواص فیزیکی و مکانیکی لوبیا قرمز به-صورت تابعی از محتوی رطوبت بررسی شد. نتایج نشان داد که رطوبت بر خواص فیزیکی لوبیا قرمز شامل طول، عرض، ضخامت، قطر متوسط هندسی، قطر متوسط حسابی، سطح تصویر شده، حجم، چگالی توده، تخلخل، وزن هزار دانه و زاویه ی استقرار استاتیکی در سطح احتمال 1 درصد اثر معنی داری دارد. به طوری که با افزایش رطوبت از 54/7 به 12 درصد بر پایه خشک طول، عرض، ضخام...

15 صفحه اول

Cylindrical Three-Dimensional Porous Anodic Alumina Networks

The synthesis of a conformal three-dimensional nanostructure based on porous anodic alumina with transversal nanopores on wires is herein presented. The resulting three-dimensional network exhibits the same nanostructure as that obtained on planar geometries, but with a macroscopic cylindrical geometry. The morphological analysis of the nanostructure revealed the effects of the initial defects ...

متن کامل

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Journal of physics

سال: 2021

ISSN: ['0022-3700', '1747-3721', '0368-3508', '1747-3713']

DOI: https://doi.org/10.1088/1742-6596/1954/1/012021